Término solicitado: HARASHIMA, FUMIO^RED./(22)
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| Tipo de Docum.: | conferencia |
| Título: | Integrated micro-motion systems; micromachining, control and applications |
| Autor: | Harashima, Fumio. ed. |
| Reunión: | Toyota. JP, Toyota conference, 3, Aichi. JP, 1989 |
| Idioma: | eng |
| Datos de Edición: | Amsterdam, NL; Oxford, GB; New York, US; Tokyo. JP. Elsevier. 1990. |
| Pág./Vol.: | 462p. |
| Descriptores: | Micromecánica; Microsistemas; Control; Aplicaciones; Micromecanización; Sensores; Silicio; Señales; Electroquímica; Presión; Diseño; Fabricación; Microelectrónica; Propiedades mecánicas; Microestructuras; Sensores inteligentes; Materiales; Dinámica; Motores eléctricos; Movimiento; Microsensores; Sensores mecánicos; Procesamiento de señales; Actuadores; Sensores integrados; Fluidos; Robots; Performance; Transductores; Medicina; Productos biológicos; Electrostática |
| Ubicación: | Electrónica/A-69 |
| Disponibilidad: | INTI-Electrónica e Informática |
Fin
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